近日 大連理工大學

等離子體工藝腔室仿真平臺（MAPS）

研發(fā)成功的消息登上《科技日報》頭版

多年攻關(guān) 萬次實驗 突破瓶頸

一起來看??????

科技日報大連1月18日電 （記者張?zhí)N）原子級制造是推進新型工業(yè)化的核心“根技術(shù)”，然而卻一直面臨技術(shù)瓶頸。記者18日從大連理工大學獲悉，該?？蒲袌F隊研發(fā)出國內(nèi)首款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的等離子體工藝腔室仿真平臺（MAPS）。該平臺可在虛擬世界中復現(xiàn)真實的制造過程，以實現(xiàn)產(chǎn)品的提前研發(fā)和性能預判。

射頻容性耦合等離子體源實驗診斷平臺

大連理工大學集成電路學院黨委書記、博士生導師高飛介紹，MAPS可以針對產(chǎn)業(yè)界的原子級制造裝備進行全方位仿真，包括外控參數(shù)、裝置幾何結(jié)構(gòu)，并將給出最終演化結(jié)果，從而節(jié)省整個部件研發(fā)時間，提高研發(fā)效率。團隊依托大連理工大學學科優(yōu)勢，展開了多年技術(shù)攻關(guān)、數(shù)萬次等離子體實驗測試。目前，該技術(shù)已應用于拓荊科技、華為等多家企業(yè)，較國外同類型產(chǎn)品節(jié)約經(jīng)濟成本15%、節(jié)約時間成本20%。

大連理工大學國家重點學科等離子體物理學科教授張鈺如說：“團隊和國內(nèi)許多頭部企業(yè)都開展了深入合作，建立了校企聯(lián)合實驗室，這意味著學生在校期間就可以深入企業(yè)參與聯(lián)合技術(shù)攻關(guān)項目，這一模式將為相關(guān)產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)出更多的高精尖緊缺人才。”

團隊成員工作中

目前，遼寧省將原子級制造納入未來產(chǎn)業(yè)重點方向，依托重點實驗室群等載體，組織開展原子級制造技術(shù)專題路演推介等活動。遼寧省科學技術(shù)廳副廳長許愛東表示：“遼寧省設(shè)立了未來產(chǎn)業(yè)的科技計劃，圍繞原子級制造、量子科技、具身智能等方向開展基礎(chǔ)研究和前沿攻關(guān)，將努力形成一批助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展的‘根技術(shù)’加快實現(xiàn)‘換道超車’?！?/p>

守正創(chuàng)新 開拓未來

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內(nèi)容來源 | 大工新聞網(wǎng)

編輯排版 | 賽非耶 康樂

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