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再擴(kuò)產(chǎn)能,開(kāi)發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料:上海新陽(yáng)5.8億元新項(xiàng)目啟動(dòng)

澎湃新聞?dòng)浾?賀梨萍
2023-02-15 12:04
來(lái)源:澎湃新聞
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國(guó)內(nèi)缺芯潮下,受益于晶圓廠的擴(kuò)產(chǎn)及國(guó)產(chǎn)替代加速,集成電路制造用工藝化學(xué)材料的市場(chǎng)需求量也隨之增加。濕電子化學(xué)品供應(yīng)商上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司(下稱(chēng)“上海新陽(yáng)”,300236)近年來(lái)大舉布局集成電路關(guān)鍵工藝化學(xué)材料,不斷擴(kuò)充產(chǎn)能以搶占未來(lái)市場(chǎng)。

2月14日晚間,上海新陽(yáng)公告披露,公司擬與上海化學(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會(huì)、上海化學(xué)工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》,變更全資子公司上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司注冊(cè)于上?;瘜W(xué)工業(yè)區(qū),并啟動(dòng)位于上海化學(xué)工業(yè)區(qū)的項(xiàng)目(下稱(chēng)“項(xiàng)目”)建設(shè)。

該項(xiàng)目主要用于開(kāi)發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料。經(jīng)初步測(cè)算,項(xiàng)目總投資金額約為5.8億元人民幣,占地約104畝。項(xiàng)目資金來(lái)源為公司自有及自籌資金,上海新陽(yáng)稱(chēng),帶來(lái)一定的資金壓力。

項(xiàng)目預(yù)計(jì)年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠;年產(chǎn)10000噸光刻膠稀釋劑;年產(chǎn)5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產(chǎn)品;年產(chǎn)15000噸干法蝕刻清洗液系列產(chǎn)品。

據(jù)公告披露,項(xiàng)目擬于2023年取得施工許可證,2025年底前竣工,2026年6 月底前投產(chǎn)。

上海新陽(yáng)的獨(dú)立董事對(duì)此項(xiàng)目給出的意見(jiàn)為,為了進(jìn)一步鞏固在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料行業(yè)的領(lǐng)先地位,實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路關(guān)鍵工藝化學(xué)材料的自主可控,公司目前需要擴(kuò)大產(chǎn)能以滿足未來(lái)客戶(hù)需求。項(xiàng)目投產(chǎn)將使公司清洗液系列產(chǎn)品、光刻膠系列產(chǎn)品、刻蝕液系列產(chǎn)品的產(chǎn)能獲得極大提高。本項(xiàng)目建設(shè)符合公司長(zhǎng)期發(fā)展的戰(zhàn)略需求。

上海新陽(yáng)創(chuàng)立于1999年7月,2011年6月在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板上市。公司此前在公告中提到,公司成立前10年,研發(fā)出了面向半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的第一代電子電鍍與電子清洗技術(shù),為我國(guó)半導(dǎo)體封裝引線腳工藝加工帶來(lái)了一場(chǎng)根本性技術(shù)變革與提升;后10年,研發(fā)出了面向芯片制造領(lǐng)域的第二代電子電鍍與電子清洗技術(shù),為我國(guó)芯片制造銅互連工藝填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)材料的空白,實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代和自主供應(yīng)能力,一舉突破了國(guó)外企業(yè)在這一領(lǐng)域的壟斷,避免了被國(guó)外封鎖與“卡脖子”的可能。迄今為止,公司是國(guó)內(nèi)唯一能夠滿足芯片90-14nm銅制程全部技術(shù)節(jié)點(diǎn)對(duì)電鍍液要求的本土企業(yè)。

值得關(guān)注的是,2022年上半年,作為公司的第三大核心技術(shù)產(chǎn)品,上海新陽(yáng)的光刻膠取得重大突破,自主研發(fā)的KrF光刻膠產(chǎn)品通過(guò)認(rèn)證,客戶(hù)不斷增加,已在國(guó)內(nèi)主流晶圓制造廠商處實(shí)現(xiàn)供貨。公司在1月曾對(duì)外表示,公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷(xiāo)售,ArF類(lèi)光刻膠樣品目前在國(guó)內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中,EUV光刻膠尚在開(kāi)發(fā)階段。

總體而言,上海新陽(yáng)目前形成了擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術(shù), 第三大核心技術(shù)電子光刻技術(shù)及第四大核心技術(shù)電子研磨技術(shù)都已基本形成。

隨著產(chǎn)業(yè)工藝升級(jí)和下游廠商的積極擴(kuò)產(chǎn),半導(dǎo)體材料市場(chǎng)正快速增長(zhǎng)。國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)數(shù)據(jù)顯示,2021年全球半導(dǎo)體材料市場(chǎng)收入達(dá)到643億美元,超過(guò)了此前2020年555億美元的市場(chǎng)規(guī)模,同比增長(zhǎng)15.9%。與此同時(shí),受益于產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移趨勢(shì),2021年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料銷(xiāo)售額高達(dá)119.3億美元,同比增長(zhǎng)22%,增速遠(yuǎn)高于其他國(guó)家和地區(qū)。

實(shí)際上,半導(dǎo)體材料種類(lèi)繁多,包括硅片、電子特氣、光刻膠、工藝化學(xué)品、研磨液、靶材等。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示,硅片為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域規(guī)模最大的品類(lèi)之一,市場(chǎng)份額占比達(dá)31.2%,其次為氣體,占比約14.1%,第三為光刻膠配套試劑、光刻膠、工藝化學(xué)品、拋光液和拋光墊類(lèi)化學(xué)材料,占比分別為7.3%、5.0%、6.5%和8.4%。

而上海新陽(yáng)目前產(chǎn)品主要涉及半導(dǎo)體芯片制程工藝所需的電鍍液及添加劑、清洗液、光刻膠及研磨液等關(guān)鍵工藝化學(xué)材料。

公司在2022年半年報(bào)中曾披露,在集成電路制造用關(guān)鍵工藝材料產(chǎn)品市場(chǎng)需求旺盛情況下,于2019年啟動(dòng)集成電路關(guān)鍵工藝材料擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目,布局規(guī)劃了清洗液、刻蝕液、電鍍液及添加劑、光刻膠、研磨液等化學(xué)品材料產(chǎn)能,歷經(jīng)2年多的建設(shè)、調(diào)試、試生產(chǎn)等環(huán)節(jié),公司上海廠區(qū)年產(chǎn)能1.9萬(wàn)噸擴(kuò)充目標(biāo)已建設(shè)完成,并根據(jù)客戶(hù)需求情況投入生產(chǎn)。上海新陽(yáng)稱(chēng),此擴(kuò)產(chǎn)解決了公司迫切的產(chǎn)能瓶頸問(wèn)題,為公司2022年上半年產(chǎn)品放量增長(zhǎng)提供支撐。

上海新陽(yáng)在2022年12月回復(fù)投資者時(shí)提到,上海本部1.9萬(wàn)噸產(chǎn)能未完全投產(chǎn)。

此外,上海新陽(yáng)于2019年10月21日與合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)簽訂《上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司第二生產(chǎn)基地項(xiàng)目投資合作協(xié)議》,啟動(dòng)了公司位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)的第二生產(chǎn)基地項(xiàng)目建設(shè),項(xiàng)目計(jì) 劃分二期建設(shè),一期投資約3億元人民幣。二期項(xiàng)目則于2022年2月達(dá)成協(xié)議,總投資約3.2億元人民幣。

在今年1月底,上海新陽(yáng)稱(chēng),合肥新陽(yáng)項(xiàng)目?jī)善诓⑿?,目前尚未投產(chǎn)。

2022年前三季度,上海新陽(yáng)營(yíng)業(yè)收入為8.77億元,和上年同期相比(同比)增加23.22%;歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為1394.76萬(wàn)元,同比減少81.20%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤(rùn)為9363.82萬(wàn)元,同比增加38.52%。

 

    責(zé)任編輯:孫扶
    圖片編輯:金潔
    校對(duì):施鋆
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